专业UV解胶机，晶圆照射机生产厂家
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UV之道唯云禾
1. 主要规格
1.1 框架尺寸: 6或8英寸 （DISCO或者K&S任选一种）
1.2 膜种类: UV膜
1.3 晶圆规格： 4，5，6，8英寸
1.4 照射光源: 波长365nm的低压水银灯管
1.5 工作台盘: 可以通过更换托盘来实现两个6寸的同时照射和一个8寸的照射
1.6 装卸方式: 产品手动放置与取出
1.7 托盘系统: 自动开打与关闭
1.8产品定位: 定位销定位框架
1.9电力供应: 单相交流电220V,5A
1.10压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟1立方英尺
1.11体积: 650毫米(宽)*410毫米(深)*200毫米(高)
1.12净重: 40公斤
2. 机器性能:
2.1 控制系统: 简单的按钮控制工作过程，触摸屏设定照射时间等参数
2.2 冷却系统: 内置排风扇
2.3 设备维护： 易于拆卸，控制元件部分采用抽屉式机构，方便检测与维修
2.4功率损耗: 低功率条件下工作(约100W)
2.5 每小时产能: >=90 片（6寸） >=50片（8寸）
